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四噴頭超聲波勻膠機(jī)是一款用于在基片上涂覆光刻膠或其他功能性液體的gaoduan、高精度的半導(dǎo)體及微納加工設(shè)備。它代表了勻膠技術(shù)的zui新發(fā)展方向，尤其適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)和非平面襯底的涂膠
傳統(tǒng)勻膠機(jī)通常只有一個(gè)固定的滴膠頭或靜態(tài)噴頭，通過(guò)中心滴膠或靜態(tài)噴灑的方式將光刻膠覆蓋在基片上，然后通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力使膠體鋪展均勻。
四噴頭超聲波勻膠機(jī)則是一種新型的設(shè)計(jì)。它集成了以下核心部件：
四個(gè)獨(dú)立的超聲波壓電噴頭：這是其名稱的由來(lái)。每個(gè)噴頭都是一個(gè)獨(dú)立的、精密的液體分配單元。
高精度機(jī)械臂：這四個(gè)噴頭被安裝在一個(gè)多自由度的機(jī)械臂上，可以jingque控制噴頭在基片上方進(jìn)行復(fù)雜的三維運(yùn)動(dòng)。
超聲波霧化技術(shù)：利用高頻超聲波振動(dòng)將液體“撕裂”成極其微小且均勻的霧狀液滴（通常直徑在微米級(jí)別），然后通過(guò)載氣將其噴射出去。
協(xié)同控制系統(tǒng)：一個(gè)復(fù)雜的軟件系統(tǒng)，可以同步控制每個(gè)噴頭的開關(guān)、流量、以及機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)軌跡。
一．工作原理簡(jiǎn)述：
它不是簡(jiǎn)單地將膠水滴在中心，而是像一臺(tái)“3D打印機(jī)”或“噴墨打印機(jī)”一樣，通過(guò)程序控制四個(gè)噴頭，按照預(yù)設(shè)的路徑在基片表面進(jìn)行掃描式噴涂。每個(gè)噴頭可以獨(dú)立工作，也可以協(xié)同作業(yè)，從而實(shí)現(xiàn)qian所未有的涂覆均勻性和靈活性。
二．核心優(yōu)勢(shì)：
與傳統(tǒng)勻膠機(jī)相比，四噴頭超聲波勻膠機(jī)具有壓倒性的優(yōu)勢(shì)：
1.極高的均勻性：
2.zuoyue的臺(tái)階覆蓋性與保形性：
3.極高的材料利用率：
4.出色的兼容性與靈活性：
5.減少缺陷：
三．應(yīng)用領(lǐng)域：
由于其獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，四噴頭超聲波勻膠機(jī)主要應(yīng)用于對(duì)涂膠工藝要求極高的前沿科技領(lǐng)域：
1.先進(jìn)半導(dǎo)體制造：
2.MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）
3.化合物半導(dǎo)體與功率器件：
4.光子器件與光學(xué)元件：
5.顯示技術(shù)：
6.科研與前沿探索：
四．技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
四噴頭超聲波勻膠機(jī) |
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產(chǎn)品型號(hào) |
CY-300SS-4 |
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勻膠機(jī) |
圓晶尺寸 |
12英寸 |
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腔體材質(zhì) |
聚四氟 |
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加熱溫度 |
≤200℃（可以用一個(gè)小時(shí)） |
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溫控精度 |
+/- 0.1oC |
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加熱方式 |
紅外線加熱元件 |
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涂層持續(xù)時(shí)間 |
0-60 秒（可調(diào)） |
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涂層厚度 |
≤100nm（取決于您的加工工藝） |
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旋轉(zhuǎn)速度 |
30~6000rpm可調(diào) |
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旋轉(zhuǎn)加速度 |
30~2000rpm/s可調(diào) |
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轉(zhuǎn)速分辨率 |
1rpm |
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單次zui長(zhǎng)勻膠時(shí)間 |
3000s |
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真空吸盤 |
一塊 2.5x2.5cm，一塊 10x10cm |
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控溫方式 |
AIP 智能溫控 |
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操作方式 |
7 英寸高清 LCD 觸摸屏 |
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控制面板 |
高清觸摸屏 PLC 控制面板可設(shè)置噴霧、脫水程序和溫控 |
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點(diǎn)膠機(jī)專用純機(jī)械吸盤 |
12 英寸一塊（需額外定制）；6 英寸一塊（需額外定制） |
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無(wú)油真空泵 |
型號(hào)：AP-2000V 功率：0.55kw zui低真空度：-700mmHg；-92Kpa zui大氣流量：200L/min；12M3/h 重量：10kg |
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外形尺寸 |
1200x1000x1050mm |
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超聲波系統(tǒng) |
數(shù)量 |
4個(gè) |
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霧化頭材質(zhì) |
鈦合金 |
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頻率 |
120kHz |
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功率 |
130W |
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流量 |
0.01-20ml/min |
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微粒直徑 |
20-25um |
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噴涂寬度 |
2-20mm |
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霧化頭類型 |
錐型 |
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注射泵 |
流量范圍 |
50mL/min |
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注射泵規(guī)格 |
10ml 精度+/- 0.01 mL |
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注射泵規(guī)格 |
100mL 精度+/- 0.01 mL |
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線速度范圍 |
5um/min-65um/min |
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線速度調(diào)節(jié)分辨率 |
5um/min |
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zui大行程 |
140mm |
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行程分辨率 |
0.156um |
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額定線性推力 |
＞90N |
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流量計(jì) |
控制氣體種類 |
2種 |
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氣體流速 |
16-160mL/min |
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